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掃描電鏡方法
發布時間:2021-11-18   點擊次數:188次
   掃描電鏡是用電子打在樣品上,用電子束成像。這主要是因為電子的波長小,光的波長在400到700納米量級,而電子的波長公式是 lambda=h/(mv),一般用的電壓是80kV 到 300kV,電子的波長就是在0.01納米左右,和原子的大小接近。更短波長的好處,是可以觀測到更小尺寸的東西,否則會因為波的衍射和干涉無法分辨。通??吹降纳飿悠?,和高倍昆蟲圖片,是用掃描電鏡拍到的,實際上這是電子顯微鏡中放大倍數低的,純科普的。這些其實還可以用光學顯微鏡看。我們說的「顏色」是可見光的顏色,對于電子來說,它不是光,因此沒有顏色一說。因此樣品成像無顏色
  掃描電子顯微鏡目前廣泛的用途是看電子元件,像CPU現在都是25納米制程,這些的檢查都是用高分辨率的掃描電鏡。還有一些生物樣品,比如骨頭斷面組織之類也會用到掃描電鏡。還有納米線的形貌像(外觀)。
  掃描電鏡方法:
  掃描電鏡方法是利用掃描電鏡對樣品的結構和性能進行分析的方法。掃描電鏡的基本部件有透鏡系統、電子槍、電子收集器、觀察和記錄影像的陰極射線管等。其基本原理是用極細的電子束在樣品表面上掃描,然后按電視原理放大成像,顯示在電視屏幕上。
  當電子轟擊樣品表面時會產生各種信號,其中包括二次電子、背散射電子和不同能量的光子等。這些信號來自樣品的特定發射區域,它隨表面形貌的不同而變化。從而可以獲得樣品的成份、表面形貌、晶體結構等信息。掃描電鏡的特點之一是,用它檢驗大塊樣品時能獲得高的分辨率,商品儀器可達50埃,專用儀器可達25埃。特點之二是,利用掃描電鏡的大景深可獲得樣品的三維形態。這對生物學、醫學等特別有價值。
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